江阴市南闸热工仪表有限公司
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多晶硅还原炉，主要由底盘、炉体、电极、混合气进气管、混合气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及硅棒组成。本发明因混合气进气管均设置在由电极组成的正多边形的中心，使得工艺气体能够均匀的扩散到位于多边形顶点的硅棒表面上。
电极采用正多边形分布，各电极之间互相辐射的能量基本持平，硅棒之间互相吸收散失的能量，硅棒的温度更容易得到维持与控制。由于硅棒互相吸收热辐射，平均每根硅棒被炉体内表面吸收的热辐射大大减少，由于电极数量增加到36对，单台还原炉的产量也大幅度提升。每公斤多晶硅的电耗大大降低，多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。还原炉厂家
