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什么是多晶硅还原炉?

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什么是多晶硅还原炉?

发布日期:2017-06-23 作者: 点击:

    多晶硅还原炉,主要由底盘、炉体、电极、混合气进气管、混合气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及硅棒组成。本发明因混合气进气管均设置在由电极组成的正多边形的中心,使得工艺气体能够均匀的扩散到位于多边形顶点的硅棒表面上。

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电极采用正多边形分布,各电极之间互相辐射的能量基本持平,硅棒之间互相吸收散失的能量,硅棒的温度更容易得到维持与控制。由于硅棒互相吸收热辐射,平均每根硅棒被炉体内表面吸收的热辐射大大减少,由于电极数量增加到36对,单台还原炉的产量也大幅度提升。每公斤多晶硅的电耗大大降低,多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。还原炉厂家

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